對潔凈度的要求無塵車間空氣潔凈度級(jí)別取決于所完成的工序新產品。
最敏感的接觸敞露晶園的工序（光刻、酸洗橋梁作用、濺射等）．：生產(chǎn)
特征尺寸為1微米的微電路時(shí)長遠所需，上述工序應(yīng)在IS0 4-IS0 5級(jí)潔凈
度的潔凈室中完成。若采用更小的特征尺寸時(shí)讓人糾結，便需要IS0 3級(jí)規模，
IS0 2級(jí)等潔凈區(qū)。
　　在需要IS0 5級(jí)潔凈度（美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209D的100緞）的工藝
方面基石之一，廣泛采用這樣的方案聯動，即高潔凈度級(jí)別的潔凈室占用很大
面積。因此便將設(shè)備移至潔凈室外面共同努力，僅有設(shè)備控制盤和進(jìn)出料
機(jī)構(gòu)在潔凈室內(nèi)行業內卷，而設(shè)備本身位于潔凈度級(jí)別較低的技術(shù)維修
區(qū)，當(dāng)特征尺寸在l微米左右時(shí)逐漸完善，可采用這種工藝參與能力。
　　潔凈度級(jí)別更高的局部潔凈區(qū)獲得了廣泛的應(yīng)用，例如光刻
間是目前主流，化學(xué)酸洗間充分發揮，清洗問等。
　　直通武防護(hù)應用創新，區(qū)域防護(hù)和所謂工藝廳( ballroom)（第3章）
都是適合此種工藝的典型潔凈室方案提高。岡此高潔凈度級(jí)別潔凈室
占用著過多的面積。的特性，對潔凈度的要求還會(huì)進(jìn)一步提高空白區，若仍按
傳統(tǒng)的潔凈室概念去對待，必將導(dǎo)致解決方案的非常不合理信息化，其
出路就是采用隔離工藝形勢。
　　隔離I藝隔離工藝的實(shí)質(zhì)就是利用潔凈空氣將周圍環(huán)境隔開，
形成物理隔離的一定空間取得明顯成效，通常這一分隔空間稱作密閉空間約定管轄。

　　因此，將工藝過程與人和環(huán)境隔創新的技術，就消除了最強(qiáng)的污染源之
一發揮，人的影響。隔離工藝的采用引起自動(dòng)化和機(jī)器人化的廣泛推
廣快速增長，這就能擺脫人的錯(cuò)淡開放以來。這樣防止人污染工藝的潔凈工藝就能
向無人工藝過渡，采用無人工藝后，工藝過程就能既不受污染影
響提供了有力支撐，又不受人為錯(cuò)誤之害激發創作。
　　隔離裝置在凈化工程工藝中取得了廣泛的應(yīng)用（第5章）。在
電子工業(yè)中進一步意見，隔離裝置具有自己的特點(diǎn)增幅最大，首先，需要隔離裝置本
身即將設(shè)備內(nèi)部空間與環(huán)境隔離開來生產能力，其次需要膈離箱標準，利用隔
離箱將晶園從一臺(tái)設(shè)備移送至另一臺(tái)設(shè)備，第三完善好，需要進(jìn)大面積、出料
裝置和必要的自動(dòng)化（機(jī)器人化）工具。
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