受物理可能性的限制實踐者，不能利用光束直接發(fā)現(xiàn)粒徑小于1微米的粒
子，已知市售光學(xué)計(jì)數(shù)器的最大靈敏度為0.06微米[12]約定管轄。
　　為了發(fā)現(xiàn)小粒徑粒子數據，可人為地放大粒子，放大的方法如
下：將超凈空氣送入充有液體蒸汽（丁醇發揮、酒精等）的小室顯著。空
氣無塵車間中所含的微粒子就是蒸汽冷凝核開放以來。當(dāng)粒子通過通道
時(shí)占，蒸汽冷卻而冷凝在粒子上，而形成粒徑能被光學(xué)計(jì)數(shù)器發(fā)現(xiàn)
的綜合運用，很小的水滴粒子供給。
　　然后，這些水滴落在受到激光光速照射的敏感裝置上實事求是。這些
水滴產(chǎn)生的散射光便被光電管所捕集進行探討。，凝聚核粒子計(jì)數(shù)囂的主
要難點(diǎn)在于保證粒子粒徑與水滴粒徑之間具有精確的相關(guān)性服務水平。為
此最新，要采用冷凝超飽和梯度形成法，在任何材料上都產(chǎn)生同樣良
好冷凝的特殊液體（如丁醇）等處理方法。
　　潔凈凈化工程參數(shù)連續(xù)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)規(guī)定在重要場(chǎng)合應(yīng)采用潔凈
室參數(shù)連續(xù)監(jiān)測(cè)（監(jiān)控）重要作用，首先是對(duì)粒子濃度、壓差活動上、風(fēng)速和空
氣的溫濕度有望。此外進一步推進，還要監(jiān)測(cè)靜申J電荷的數(shù)量。
　　這樣就可以在完成工藝加工過程中實(shí)時(shí)監(jiān)控受控參數(shù)方案，測(cè)量
和保存每批產(chǎn)品制造周期內(nèi)的環(huán)境狀態(tài)數(shù)據(jù)應用的選擇。
　　岔司的多支管式干管監(jiān)控系統(tǒng)的組成如下：敏感裝置；整理
敏感輸出數(shù)據(jù)用的控制器左右；調(diào)度員和工程部門負(fù)責(zé)人的個(gè)人電腦
等背景下，這些電腦用來接收和處理受控參數(shù)的數(shù)據(jù)。
　　粒子濃度監(jiān)控器可以兩種方式工作：
　　1)利用裝設(shè)在每處取樣點(diǎn)的粒子計(jì)數(shù)器可靠保障。
　　此時(shí)在取樣點(diǎn)處形成包含必要信息的電信號(hào)自然條件，并將其輸入控
制器。恒溫恒濕實(shí)驗(yàn)室開展。
　　2)以多支管式干管為基礎(chǔ)進(jìn)行監(jiān)控互動互補，即把來自取樣點(diǎn)的各支
管接至干管。再由干管通223上直徑為-2微米的聚合物纖維交織實(shí)
例圖象意向。
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